Misec Blog
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【世界初!】AI用次世代半導体の製造工程に対応した 「高温ガスチューブヒーター」を開発しました!
■AI半導体とは?
昨今、生成AIが話題を集めていますが、皆さんは「AI半導体」をご存じでしょうか?
AI半導体とは、人工知能(AI)の処理に特化して設計された半導体デバイスです。
これまでのAIは主にリモートサーバーに搭載されていましたが、
近年では、Appleが生成AI機能を搭載した新製品を発表するなど、誰もがより身近にAIを利用する時代が近づいていますよね。
それに伴って、AI半導体の需要もまた増大しているのです。
■AI半導体の製造における課題
半導体の製造工程には、高温ガスの移送が必要です。
従来の半導体の製造工程では、200℃の温度制御が必要でしたが、AI用次世代半導体の製造工程においては、より高温な250℃の温度制御が求められます。
しかし、従来の製法ではガスの均熱性の確保が難しく、配管の中にガスの結晶がたまってしまうという問題点がありました。
そこで、マイセックは独自技術を使用し、世界初の高温ガスチューブヒーターを開発しました!

■高温ガスチューブヒーターの4つの特徴
1.250℃の高温ガスの移送
ヒーター線にフッ素を染みこませることで、300℃の高温に耐えるフッ素被膜のヒーターを開発
2.温度ムラを抑える
金属製のフレキシブルチューブに10mm間隔でヒーター線を編み込ことで、チューブ内の温度ムラを最小限に抑える

金属にヒーターを編み込むってどういうこと?

硬いヒーター線と柔らかい糸を同時に編み込むのは非常に難しい技術で、これができるのはマイセックのみ!この技術は新案登録(3209680)も取得
3.外装表面温度を低く保つ
ガスチューブ内部には250℃のガスが通っているのにも関わらず、外装表面温度は80℃以下!
優れた断熱性能をもつエアロゲルを採用することで、外部への熱の放出を抑え、周辺機器への影響も心配なし
4. スリムな設計
このような様々な特徴があるにも関わらず、外装の直径は35mmと非常にスリム!
限られたスペースにも設置しやすく、柔軟性と高性能を両立
本製品は、12月11日(水)から13日(金)に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2024」に初出展します!
詳細な内容は、プレスリリース、YouTube動画など、各種メディアをご覧ください✨
マイセックは、ヒーター技術を通じて、AIの発展を支え、社会の進歩に貢献してまいります。
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